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超聲波振板在太陽能電池硅片清洗中的應(yīng)用
科力超聲【Kelisonic】

超聲波清洗是半導體工業(yè)中廣泛應(yīng)用的一種清洗方法，該方法的優(yōu)點是：清洗效果好，操作簡單，對于復雜的器件和容器也能清除在強烈的超聲波作用下，液體介質(zhì)內(nèi)部會產(chǎn)生疏部和密部，疏部產(chǎn)生近乎真空的空腔泡，當空腔泡消失的瞬間，其附近便產(chǎn)生強大的局部壓力，使分子內(nèi)的化學鍵斷裂，因此使硅片表面的雜質(zhì)解吸。當超聲波的頻率和空腔泡的振動頻率共振時，機械作用力達到最大，泡內(nèi)積聚的大量熱能，使溫度升高，促進了化學反應(yīng)的發(fā)生。超聲波清洗的效果與超聲條件（如溫度、壓力、超聲頻率、功率等）有關(guān)，而且提高超聲波功率往往有利于清洗效果的提高，超聲波震板盒多用于清除硅片表面附著的大塊污染和顆粒。

硅片清洗工序是將線鋸機床切割完畢的硅片從玻璃上脫離下來，將膠條去除后，將硅片清洗干凈并分選出等級。清洗設(shè)備主要是預清洗機(脫膠機)和超聲波清洗機。預清洗機的主要清洗流程為: 上料-噴淋-噴淋-超聲波清洗-超聲波脫膠清洗-超聲波清水漂洗-下料。超聲波清洗機的主要清洗流程為: 上料-超聲波純水漂洗-超聲波純水漂洗-堿洗-堿洗-超聲波純水漂洗-超聲波純水漂洗-預脫水(慢提拉)-烘干下料。

硅片清洗機超聲波振板是一種利用超聲波空化現(xiàn)象進行硅片清洗的設(shè)備。由超聲波振盒。超聲波發(fā)生器、超聲波振子換能器組成。超聲波發(fā)生器產(chǎn)生高頻電能，PZT壓電陶瓷換能器將高頻電能轉(zhuǎn)換為機械能，清洗溶劑中超聲波在清洗液中疏密相間的向前輻射，使液體流動而產(chǎn)生數(shù)以萬計的微小氣泡，存在于液體中的微小氣泡（空化核）在聲場的作用下振動，當聲壓達到一定值時，氣泡迅速增長，然后突然閉合，在氣泡閉合時產(chǎn)生沖擊波，在其周圍產(chǎn)生上千個大氣壓力，數(shù)百度的高溫，利用閉合時的爆炸沖擊波破壞不溶性污物而使它們分散于清洗液中，當團體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時，油被乳化，固體粒子即脫離，從而達到清洗附著在硅片表面的雜質(zhì)和污垢，使其從硅片表面脫落這種振動能量能夠破壞附著在硅片表面的雜質(zhì)和污垢，使其從硅片表面脫落。