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超聲波清洗是半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛應(yīng)用的一種清洗方法。超聲波清洗的原理是超聲波的空化效應(yīng)?？栈浅暡ㄔ谝后w中的一種物理現(xiàn)象，所謂超聲空化，是指在聲場(chǎng)作用下液體中的微氣泡（空化核）直徑約50～500μm，隨超聲波的振動(dòng)反復(fù)生成，閉合并迅速變大，閉合時(shí)會(huì)產(chǎn)生壓強(qiáng)高達(dá)幾百甚至幾千帕的微激波，因劇烈碰撞導(dǎo)致突然爆裂并使氣泡周圍產(chǎn)生千萬個(gè)大氣壓力，這種現(xiàn)象叫超聲的空化現(xiàn)象?？栈?yīng)產(chǎn)生的沖擊氣泡爆破時(shí)產(chǎn)生的沖擊壓力能夠擊碎剝離污染物；還可以使工件表面的有機(jī)物迅速分散和乳化，這就是我們常說的：超聲波分散作用和超聲波乳化作用。

除了超聲波的空化效應(yīng)為，對(duì)清洗起作用的還有輻射壓和聲流。輻射壓是大振幅聲波在介質(zhì)中傳播時(shí)對(duì)阻擋物體產(chǎn)生的壓力，聲流則是由聲場(chǎng)的存在而引起的介質(zhì)的流動(dòng)。這兩者都能夠起到攪拌作用。超聲波清洗具有清洗速度快，質(zhì)量高，不受清洗零件表面復(fù)雜形狀的限制，易與實(shí)現(xiàn)遙控和自動(dòng)化清洗等優(yōu)點(diǎn)。但是它也存在一些缺點(diǎn)。

例如：

1.超聲波清洗時(shí)采用乙醇，丙酮，三氯乙烯等有機(jī)溶劑，這些溶劑輔助超聲波清洗的去污能力很強(qiáng)，但易揮發(fā)，易燃等缺點(diǎn)，在使用過程中需要避免采用易燃，易爆等危險(xiǎn)化學(xué)品作用清洗液；

2.超聲波清洗主要用在切磨后除去大顆粒污染物，隨著污染物顆粒尺寸的減?。ㄈ缧∮?μm的顆粒）清洗效果下降，為了增加超聲波清洗效果，有時(shí)在清洗液中加入表面活性劑，這就需要增加漂洗工藝以避免有機(jī)物的殘留，同時(shí)由于聲能的作用可能會(huì)對(duì)硅片造成損傷，特別是有暗紋裂縫的硅片。

為了滿足客戶的需求，我們提供以下多種類型的超聲波清洗機(jī)：

? 臺(tái)式超聲波清洗機(jī)    

? 工業(yè)超聲波清洗設(shè)備

? 浸入式超聲波振盒

? 超聲波換能器

? 超聲波發(fā)生器