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循環(huán)過濾系統(tǒng)是一種過濾超聲波清洗槽所使用的清洗劑的裝置。循環(huán)過濾器可以去除從被清洗部件中去除的金屬碎屑和細(xì)粉、燃燒的碳或其他顆粒殘留物。循環(huán)過濾系統(tǒng)可以延長所用清洗液的整體使用壽命，減少污染物在清洗液中重新沉積到零件上的可能性，并減少對超聲波清洗機(jī)槽的維護(hù)。循環(huán)過濾器可去除清洗液中的顆粒，從而延長使用時間并減少對清洗槽的維護(hù)。循環(huán)過濾超聲波清洗機(jī)必須經(jīng)過合適設(shè)計才能最有效地工作。必須注意減少超聲波清洗機(jī)槽中過濾系統(tǒng)產(chǎn)生的液體流動，以盡量避免因液體流動而造成消除超聲波清洗能力。因此，超聲波清洗機(jī)的過濾系統(tǒng)通常僅在部件未清洗時才運(yùn)行。清洗后運(yùn)行也會照成液體中的空氣增加從而削弱超聲波清洗能力。

超聲脫氣法，隨著超聲波清洗機(jī)的普及，已經(jīng)廣泛為實驗室所采用；在液相中，也常用此方法進(jìn)行脫氣處理。采用超聲脫氣法，需要用適合體積的燒杯、三角瓶等裝純水置入超聲槽中進(jìn)行脫氣處理，等待時間相對較長。此外脫氣量的多少容易受超聲波清洗機(jī)超聲槽的大小限制。