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在光學(xué)冷加工中，超聲波清洗機(jī)是如何實(shí)現(xiàn)清洗的？光學(xué)清洗工藝主要以干燥的方式命名，如 IPA 工藝，是指利用 IPA（異丙醇）進(jìn)行脫水干燥的清洗工藝， 純水工藝是指利用熱純水慢提拉或冷純水離心干燥的方式進(jìn)行干燥的清洗工藝，IPA 工藝包括四個(gè)流程：清洗、漂洗、脫水、干燥。X6型超聲波清洗發(fā)生器，KP系列超聲波振板廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)。

超聲波清洗過(guò)程分溶劑清洗和水基清洗，不同的清洗工藝：有的先進(jìn)行溶劑清洗、溶劑蒸汽干燥再進(jìn)行水基清洗；也有的先進(jìn)行溶劑清洗，再用乳化劑溶解溶劑，再進(jìn)行水基清洗的。無(wú)機(jī)光學(xué)玻璃是一種過(guò)冷的熔融態(tài)物質(zhì)，沒(méi)有固定的分子結(jié)構(gòu)，它的結(jié)構(gòu)式可描述為二氧化硅和某些金屬氧化物形成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。其骨架結(jié)構(gòu)為鍵能很大的硅氧共價(jià)鍵，外圍是鍵能小、易斷裂的氧與金屬離子形成的離子鍵。

在超聲波清洗時(shí)，由于超聲場(chǎng)和化學(xué)清洗劑的共同作用，某些硅氧鍵含量少或者外圍鍵能特別小的的材料易于在清洗過(guò)程中發(fā)生變化而導(dǎo)致清洗效果不良。所以，選擇性能溫和的超聲波清洗劑、合適的清洗劑濃度、清洗溫度、超聲波功率、清洗時(shí)間對(duì)保證鏡片的清洗質(zhì)量十分重要。利用DI水逐級(jí)溢流的方式將清洗后鏡片表面的表面活性劑殘留和污染物溶解、去除的過(guò)程稱(chēng)為漂洗。影響漂洗效果的因素有以下幾個(gè)：清洗劑的漂清性能，漂洗水的純度、溫度以及流動(dòng)性、超聲波頻率等。當(dāng)超聲波清洗頻率在 40KHz 時(shí)，在常溫下，電導(dǎo)率為 0.1μs/m 的純水可以保證漂洗的要求。

經(jīng)過(guò)漂洗后的鏡片表面的潔凈度應(yīng)和漂洗水潔凈度一致。當(dāng)它進(jìn)入 IPA 后，雖然 IPA 能和純水相溶，但在超聲波的作用下，這種混溶能進(jìn)行得更快速、徹底，從而使得鏡片表面的狀態(tài)和混溶后 IPA 相同。這一過(guò)程稱(chēng)為IPA脫水。影響脫水的主要因素是IPA 的純度、超聲波頻率、脫水時(shí)間。一般 IPA 的最低濃度要高于 97%。IPA脫水后的鏡片進(jìn)入 IPA 蒸汽槽干燥槽，利用IPA沸騰產(chǎn)生蒸汽的一種干燥方式。

電阻率大于 15MΩ·M 純水在某一溫度下，表面張力能達(dá)到最大，漂洗后的鏡片浸入其中，表面不被潤(rùn)濕，在傾斜慢提拉離開(kāi)時(shí)，由于極大的表面張力。純水迅速在表面收縮成球形離開(kāi)鏡片，這種脫水方式稱(chēng)為（慢提拉DI脫水）脫水后的鏡片在經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器HEPA(High efficiency particulate air Filter)的熱風(fēng)下而達(dá)到干燥，這一過(guò)程稱(chēng)為:熱風(fēng)干燥方式所以，水的純度、溫度、慢提拉速度、工件的傾斜度、熱風(fēng)的潔凈度對(duì)干燥的影響非常大。離心干燥的工藝很簡(jiǎn)單：經(jīng)過(guò)純水漂洗后的鏡片放入離心甩干機(jī)中，在工件取得平衡時(shí)，啟動(dòng)甩干機(jī)，利用離心分離的原理將鏡片表面的純水分離達(dá)到干燥，對(duì)要求不高的鏡片能取得滿意效果，且能節(jié)省 IPA 和場(chǎng)地。但對(duì)甩干機(jī)的平衡性能要求很高。